ナノインプリント

SEMICON Japan 2025は2025年12月17日から東京ビッグサイトで開催されます。キヤノンはナノインプリント半導体製造装置「FPA-1200NZ2C」や先端パッケージング向け露光装置など過去最大規模の展示を実施。EUV比90%の消費電力削減を実現する革新技術を詳しく解説します。